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技术交流

真空等离子清洗机对比传统清洗的优势

发布时间:2019/11/5 8:35:57 | 信息来源:
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等离子清洗机传统的湿法清洗是采用化学清洗的方法:如氢氧化氨/双氧水去除硅片表面的颗粒和有机物;用盐酸/双氧水去除表面金属;用氢氟酸去除表面自然氧化层;用硫酸/双氧水去除表面金属和有机物。
真空等离子清洗机湿法清洗作为传统的清洗方法依然还被应用,与现在等离子技术应用还是有很多缺点:
1、不能精确控制;
2、容易引入新的杂质;
3、对残余物不能处理;
4、消耗大量的酸和水;
5、清洗不彻底,需反复清洗;
6、污染环境,需对废液进行处理;
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